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硅锭制造用容器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201180048725.2
  • IPC分类号:C01B33/02
  • 申请日期:
    2011-10-03
  • 申请人:
    吉坤日矿日石金属株式会社
著录项信息
专利名称硅锭制造用容器
申请号CN201180048725.2申请日期2011-10-03
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-05-29公开/公告号CN103124693A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/02IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人吉坤日矿日石金属株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人捷客斯金属株式会社当前权利人捷客斯金属株式会社
发明人吉泽彰;清水孝幸;朝日聪明
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人肖日松;杨楷
摘要
提供了能够在硅锭制造中重复使用并且能够制造具有良好品质的硅锭的硅锭制造用容器。用于使硅熔融液凝固而使多晶硅生长的硅锭制造用容器为以下构成:在由氮化硅或碳化硅的多孔体构成的容器本体的内表面形成由氮化硅构成的脱模材料。另外,构成容器本体的多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。由于脱模材料牢固地形成于容器本体的内表面,因而能够有效地防止由于伴随硅凝固时的体积膨胀的应力而导致脱模材料损坏。另外,通过使容器的金属杂质浓度为10ppm以下,从而能够预防成为Si单晶生长的妨碍的熔融液面悬浮物SiC的生成。

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