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基板保持装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880046274.0
  • IPC分类号:H01L21/677;B25J15/06
  • 申请日期:
    2018-06-25
  • 申请人:
    株式会社荏原制作所
著录项信息
专利名称基板保持装置
申请号CN201880046274.0申请日期2018-06-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-03-06公开/公告号CN110870057A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;2;5;J;1;5;/;0;6查看分类表>
申请人株式会社荏原制作所申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社荏原制作所当前权利人株式会社荏原制作所
发明人富田正辉;山川纯逸
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人王玮;张丰桥
摘要
本发明提供一种改善了基板的保持精度降低的基板保持装置。伯努利吸附垫吸引基板(S)的表面或背面来进行保持。位置决定部(54)能够与基板(S)的侧面(82)接触,来推压基板(S),并能够对被吸引的基板(S)进行定位。插销(66)能够使位置决定部(54)与基板(S)的侧面(82)接触。通过利用插销(66)使位置决定部(54)与基板(S)的侧面(82)接触,由此位置决定部(54)将基板(S)定位。

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