冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910072376.2
IPC分类号：C30B33/02;C30B29/20;C30B15/20
申请日期：
2009-06-26
申请人：
哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司

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著录项信息

专利名称	冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法
申请号	CN200910072376.2	申请日期	2009-06-26
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-11-18	公开/公告号	CN101580965
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B33/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B33/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理（C30B 31/00优先）〔3，5〕 C30B33/02 热处理（C30B 33/04、C30B 33/06优先）〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;3;/;0;2;;;C;3;0;B;2;9;/;2;0;;;C;3;0;B;1;5;/;2;0查看分类表>
申请人	哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市宾县宾西经济开发区海宾路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司	当前权利人	哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
发明人	左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成
代理机构	哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司	代理人	刘娅

摘要

本发明提供了一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法，采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，不关电源，按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零，再通入惰性气体进行快速冷却。本发明的有益效果在于：1.可降低晶体位错密度，可降低大直径、高膨胀系数晶体的晶格空位、消除晶格畸变、位错等缺陷密度，防止晶体开裂，提高晶体质量和利用率；2.晶体实现原位退火，在保证晶体质量的前提下可缩短晶体生长周期；3.可降低生产成本。

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