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一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920741538.6
  • IPC分类号:B01D53/00;B01D49/00
  • 申请日期:
    2019-05-22
  • 申请人:
    西安西炉特种电炉有限公司
著录项信息
专利名称一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器
申请号CN201920741538.6申请日期2019-05-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/00IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;0;0;;;B;0;1;D;4;9;/;0;0查看分类表>
申请人西安西炉特种电炉有限公司申请人地址
陕西省西安市雁塔区西三环和科技路十字西北角绿地国际花都8幢1单元10层11007号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西安西炉特种电炉有限公司当前权利人西安西炉特种电炉有限公司
发明人关刚刚;李少华;赵亚国
代理机构西安弘理专利事务所代理人王蕊转
摘要
本实用新型公开了一种真空化学气相沉积炉焦油冷凝吸附器,包括冷凝器本体,冷凝器本体上依次连接有外层冷凝器和内层冷凝器,冷凝器本体的上端一侧设有进气口,冷凝器本体的下端一侧设有排气口,进气口和排气口分别位于冷凝器本体的相对两侧,冷凝器本体的底部设有排污口。该冷凝吸附器能够将气相沉积炉内的焦油冷凝吸附,防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。

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