晶体生长炉用速率可调式真空泵

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220285712.9
IPC分类号：F04B49/06;F04B39/00;C30B35/00
申请日期：
2012-06-15
申请人：
无锡力汇光电科技有限公司

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专利名称	晶体生长炉用速率可调式真空泵
申请号	CN201220285712.9	申请日期	2012-06-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B49/06 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B49/00 不包含在F04B 1/00至F04B 47/00中或与上述组无关的机械、泵或泵送装置的控制，或安全措施 F04B49/06 电控（通过浮子驱动电气开关的调节入F04B 49/04）	IPC分类号	F;0;4;B;4;9;/;0;6;;;F;0;4;B;3;9;/;0;0;;;C;3;0;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	无锡力汇光电科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市惠山开发区堰桥配套区堰畅路11-1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡力汇光电科技有限公司	当前权利人	无锡力汇光电科技有限公司
发明人	惠梦君;于永贵;徐向众;徐瑞丰;杨胜建
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	冯铁惠

摘要

本实用新型公开一种晶体生长炉用速率可调式真空泵，包括泵体，所述泵体的进气管与晶体生长炉相连，且泵体通过传动机构与电机相连，所述电机与变频器电连接。所述晶体生长炉用速率可调式真空泵通过采用变频器来调节电机转速，从而使得真空泵抽空速度相应改变，实现了对晶体生长炉炉腔压力的控制，在长晶过程中通过调节频率降低电机转速从而可以显著节约电能30%～40%，且大大减少真空泵高速运转的时间，从而减少了真空泵的磨损，可延长真空泵使用寿命3～4倍，此外，可省去真空管路中的电动阀门，从而解决了电动阀门沉积杂物造成真空管路不通畅的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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