加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680053498.1
  • IPC分类号:C03B37/014;H05H1/34
  • 申请日期:
    2006-12-28
  • 申请人:
    硅石技术责任有限公司
著录项信息
专利名称用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯
申请号CN200680053498.1申请日期2006-12-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-03-18公开/公告号CN101389573
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B37/014IPC分类号C;0;3;B;3;7;/;0;1;4;;;H;0;5;H;1;/;3;4查看分类表>
申请人硅石技术责任有限公司申请人地址
美国纽约州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人硅石技术责任有限公司当前权利人硅石技术责任有限公司
发明人M·I·古斯科夫;M·A·阿斯拉米;武韬
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人柯广华;刘春元
摘要
用于制作合成二氧化硅的等离子喷灯(40)包括使用来自外部石英管(53)的氮气屏蔽气体来提供主动环境隔离。此外,本发明电感等离子喷灯(40)包括环盘(66、70)来实现更紧凑但是更完整的环境保护(360度覆盖)。它还包括偏离并交换化学物质喷嘴(68)的位置,以便在水平模式中工作时能够实现两个方向上的改进的沉积。而且,本发明电感等离子喷灯(40)保持喷射的化学物质的层流,中间石英管(154)设有凹形部分(157),以用于增加等离子喷流的平均热含量,从而提高等离子喷灯的效率。此外,它还可以利用更多的等离子气体进口(76)。它还包括具有向下角度倾斜的化学物质喷嘴(68)。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供