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一种酸腐蚀废气处理装置及处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110076651.9
  • IPC分类号:B01D53/75;B01D53/79;B01D53/40;B08B15/04
  • 申请日期:
    2021-01-20
  • 申请人:
    浙江海纳半导体有限公司
著录项信息
专利名称一种酸腐蚀废气处理装置及处理方法
申请号CN202110076651.9申请日期2021-01-20
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-01公开/公告号CN112870945A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/75IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;7;5;;;B;0;1;D;5;3;/;7;9;;;B;0;1;D;5;3;/;4;0;;;B;0;8;B;1;5;/;0;4查看分类表>
申请人浙江海纳半导体有限公司申请人地址
浙江省衢州市开化县华埠镇万向路5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江海纳半导体有限公司当前权利人浙江海纳半导体有限公司
发明人沈益军;潘金平;高海军;肖世豪;饶伟星;张立安;杨国梁;吴雄杰;苏文霞;余天威
代理机构温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人钱磊
摘要
本发明公开了一种酸腐蚀废气处理装置及处理方法,包括酸腐蚀机,所述酸腐蚀机上设置有有若干酸雾槽,所述酸雾槽上设置有可拆卸的集气盖,所述集气盖通过管道连接有废酸雾预处理系统,所述废酸雾预处理系统通过管道连接有酸腐蚀废气处理塔,所述废酸雾预处理系统用于预处理酸腐蚀废气。通过设置本处理系统,能更加高效的处理酸腐蚀废气,降低处理废气时的能量消耗,降低废气处理所需的药品。通过采用本方法,预处理废气浓度高、总量少,处理效果更好,使用成本更经济;整体药剂使用量大约会下降20%。

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