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一种具有良好孔掩蔽功能的干膜抗蚀剂及其层压体

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510997422.5
  • IPC分类号:G03F7/038;G03F7/027;G03F7/004
  • 申请日期:
    2015-12-26
  • 申请人:
    杭州福斯特光伏材料股份有限公司
著录项信息
专利名称一种具有良好孔掩蔽功能的干膜抗蚀剂及其层压体
申请号CN201510997422.5申请日期2015-12-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-20公开/公告号CN105511227A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/038IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;3;8;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人杭州福斯特光伏材料股份有限公司申请人地址
浙江省杭州市临安市锦北街道保锦路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人杭州福斯特应用材料股份有限公司当前权利人杭州福斯特应用材料股份有限公司
发明人李志强;李伟杰;严晓慧;黄森彪;韩传龙;周光大;林建华
代理机构杭州求是专利事务所有限公司代理人邱启旺
摘要
本发明提供一种具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蚀剂及其层压体,所述干膜抗蚀剂包括第一组分和第二组分,所述第一组分由碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和单体或寡聚物、光引发剂和助剂组成;所述第二组分由含羧基的碱可溶性聚合物、含有乙烯基的不饱和键单体或寡聚物、光引发剂、结构式I的化合物、以及助剂组成;所述层压体包括支撑体、由第一组分构成的第一抗蚀层,由第二组分构成的第二抗蚀层,以及层叠于第二抗蚀剂层之上的保护膜。本发明通过对两种组分设计不同的分子量和交联密度,实现了良好的显影性和孔掩蔽性能。。

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