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具有导热装置的坩埚

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310335428.7
  • IPC分类号:C23C14/26;C23C14/12
  • 申请日期:
    2013-08-02
  • 申请人:
    深圳市华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称具有导热装置的坩埚
申请号CN201310335428.7申请日期2013-08-02
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-11-13公开/公告号CN103388123A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/26IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;6;;;C;2;3;C;1;4;/;1;2查看分类表>
申请人深圳市华星光电技术有限公司申请人地址
广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市华星光电技术有限公司当前权利人深圳市华星光电技术有限公司
发明人邹清华
代理机构深圳市德力知识产权代理事务所代理人林才桂
摘要
本发明提供一种具有导热装置的坩埚,包括:坩埚本体及设置于坩埚本体内的导热装置,所述导热装置呈树状,其包括散热主干及设于散热主干上的数层散热枝干,每层散热枝干包括数个枝干单元,所述枝干单元由所述散热主干的外表面向外延伸设置。本发明的具有导热装置的坩埚,通过在坩埚本体中设置树状导热装置,将热量传递到坩埚本体的各个方向,进而使得在蒸镀时,置于坩埚本体内的有机材料能均匀受热,有效避免现有技术中,由于有机材料受热不均而导致的部分有机材料裂解的现象,有效提高蒸镀效率及蒸镀效果。

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