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灵敏度可调的真空检漏自动化系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610586739.4
  • IPC分类号:G01M3/20
  • 申请日期:
    2016-07-22
  • 申请人:
    北京卫星环境工程研究所
著录项信息
专利名称灵敏度可调的真空检漏自动化系统
申请号CN201610586739.4申请日期2016-07-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-01-05公开/公告号CN107543661A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M3/20IPC分类号G;0;1;M;3;/;2;0查看分类表>
申请人北京卫星环境工程研究所申请人地址
北京市海淀区友谊路104号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京卫星环境工程研究所当前权利人北京卫星环境工程研究所
发明人汪力;孙立臣;孟冬辉;史纪军;刘恩均;孙立志;张海峰;赵建超;齐飞飞;李文斌
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种灵敏度可调的真空检漏自动化系统,主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元;所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器;所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统,计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀门进行控制。本发明通过计算机控制系统,提高了试验仪器操作的便捷性和准确率,试验数据处理能力有效提升,节省了试验时间和经费。

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