一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构

发明专利有效专利

申请号：
CN201710749604.X
IPC分类号：B65G35/00;B65G47/22
申请日期：
2017-08-28
申请人：
大连佳峰自动化股份有限公司

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专利名称	一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构
申请号	CN201710749604.X	申请日期	2017-08-28
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-11-07	公开/公告号	CN107323990A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G35/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G35/00 其他类不包含的机械输送机	IPC分类号	B;6;5;G;3;5;/;0;0;;;B;6;5;G;4;7;/;2;2查看分类表>
申请人	大连佳峰自动化股份有限公司	申请人地址	辽宁省大连市开发区福泉北路27号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连佳峰自动化股份有限公司	当前权利人	大连佳峰自动化股份有限公司
发明人	刘治松;孙萌;王东明;于国庆
代理机构	北京高沃律师事务所	代理人	王加贵

摘要

本发明公开一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。本发明还公开一种晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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