一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟发明专利
申请号：CN200510132576.4
LOC分类号:H01L21/673
IPC结构图谱：
- A人类生活必需
- A6保健；救生；娱乐
- A61医学或兽医学；卫生学
- A61M将介质输入人体内或输到人体上的器械（将介质输入动物体内或输入到动物体上的器械入A61D7/00；用于插入棉塞的装置入A61F13/26；喂饲食物或口服药物用的器具入A61J；用于收集、贮存或输注血液或医用液体的容器入A61J1/05）；为转移人体介质或为从人体内取出介质的器械（外科用的入A61B，外科用品的化学方面入A61L；将磁性元件放入体内进行磁疗的入A61N2/10）；用于产生或结束睡眠或昏迷的器械〔4，5〕
- A61M1/00医用吸引或汲送器械；抽取、处理或转移体液的器械；引流系统（导管入A61M25/00；专门适用于医用的连接管、耦合管、阀或分流元件入A61M39/00；血液取样器械入A61B5/15；牙医用除唾液器械入A61C17/06；可植入血管内的滤器入A61F2/01）〔5〕
