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一种适用于RIE刻蚀的载板装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721181829.1
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/673
  • 申请日期:
    2017-09-15
  • 申请人:
    广东爱康太阳能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种适用于RIE刻蚀的载板装置
申请号CN201721181829.1申请日期2017-09-15
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人广东爱康太阳能科技有限公司申请人地址
广东省佛山市三水工业园区C区69号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东爱旭科技股份有限公司当前权利人广东爱旭科技股份有限公司
发明人胡茂界;夏利鹏;秦崇德;方结彬;何达能;陈刚
代理机构北京中济纬天专利代理有限公司代理人孔凡亮
摘要
本实用新型公开一种适用于RIE刻蚀的载板装置,属于太阳能电池技术领域,包括用于传输硅片的铝载体,还包括设置在铝载体内的若干用于放置硅片的硅片位、用于分隔硅片位的定位点、及设置在铝载体四周边缘上的若干陪片位;所述铝载体呈方形,所述硅片位具有四十个,硅片位均匀分布在所述铝载体上,通过所述定位点相互隔开;所述陪片位具有二十八个,陪片位通过定位点与所述硅片位隔开。本实用新型可实现陪片牢固的固定在载板上,不会在生产过程中发生陪片缺失,避免影响RIE刻蚀效果,有效保证工艺的稳定性,使硅片表面形成一层均匀纳米级凹坑。

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