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有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410130950.6
  • IPC分类号:H01L51/56
  • 申请日期:
    2014-03-24
  • 申请人:
    中国科学院重庆绿色智能技术研究院
著录项信息
专利名称有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法
申请号CN201410130950.6申请日期2014-03-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-06-18公开/公告号CN103872266A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L51/56IPC分类号H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人中国科学院重庆绿色智能技术研究院申请人地址
重庆市北碚区方正大道266号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院重庆绿色智能技术研究院当前权利人中国科学院重庆绿色智能技术研究院
发明人冷重钱;史浩飞;罗伟;邵丽;尹韶云;杜春雷
代理机构北京同恒源知识产权代理有限公司代理人赵荣之
摘要
本发明公开了一种有机光电子器件的卷对卷制备设备,包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统;所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿器件材料传输方向先后设置;所述惰性气体腔室内还设置有水分析仪和氧分析仪;本发明的卷对卷设备和制备方法能实现连续、快速、大规模制备有机光电子器件,冲破传统工艺成本高,不能连续、快速、大规模制备的产业化障碍,同时为柔性透明有机器件的制备提供了一个极佳方法。

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