一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200710037465.4
IPC分类号：F26B7/00;F26B5/16;F26B3/00
申请日期：
2007-02-13
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法
申请号	CN200710037465.4	申请日期	2007-02-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-08-20	公开/公告号	CN101245968
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F26B7/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F26 干燥 F26B 从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27） F26B7/00 用F26B 3/00或F26B 5/00各组中单一组不包含的方法组合，对固体材料或制品进行干燥	IPC分类号	F;2;6;B;7;/;0;0;;;F;2;6;B;5;/;1;6;;;F;2;6;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	上海市张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	瞿丹红;吴协祥;张士仁;陈淑美
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	王洁

摘要

本发明涉及一种去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法。现有的装设有热电偶且一端已经密封的石英护套中若出现水份时，很难彻底去除水份，造成热电偶使用寿命降低或测温不准的问题。本发明的去除装设有热电偶的石英护套中水份的方法，其中，该石英护套的一端已密封，该方法先向石英护套中灌入有机溶剂并使石英护套中的水份溶解在该有机溶剂中，然后倒掉石英护套中的有机溶剂，最后对该石英护套进行加热以去除石英护套中残余的有机溶剂和水份。采用本发明的方法可彻底去除石英护套中的水份，避免设置在石英护套中的热电偶使用寿命降低或测温不准。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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