加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种椭球反射镜的定位安装结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201511031846.2
  • IPC分类号:G02B7/182;G03F7/20
  • 申请日期:
    2015-12-31
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种椭球反射镜的定位安装结构
申请号CN201511031846.2申请日期2015-12-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-07-07公开/公告号CN106932882A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B7/182IPC分类号G;0;2;B;7;/;1;8;2;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人许凯迪;陈宇环
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明提供一种椭球反射镜的定位安装结构,包括位于椭球反射镜底部的定位座,所述定位座从上至下包括伸入所述椭球反射镜底部圆孔内的圆环柱凸台和与所述圆环柱凸台固定连接的定位圆环柱。这样使得椭球反射镜的轴线能够固定,即使椭球反射镜的发生热膨胀变形,但由于轴线固定,因此能够减小热膨胀变形对定位精度的影响。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供