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热蒸镀装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910302853.X
  • IPC分类号:C23C14/24
  • 申请日期:
    2009-06-02
  • 申请人:
    鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
著录项信息
专利名称热蒸镀装置
申请号CN200910302853.X申请日期2009-06-02
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2010-12-08公开/公告号CN101906609A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司当前权利人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人蔡泰生
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种热蒸镀装置,其包括一用于承载一待镀膜基板的基板基座、一与该基板基座相对设置且用于承载蒸镀材料的坩埚、一位于该待镀膜基板与该坩埚之间的钨丝线及一电场产生组件。该钨丝线电性连接一第一外部电源使该钨丝线表面产生电子。该电场产生组件用于产生施加在该基板基座与该坩埚之间的电场。该坩埚加热产生的蒸镀材料分子气体经由该钨丝线携带该电子,使携带该电子的蒸镀材料分子气体在该电场中加速并到达该待镀膜基板。所述热蒸镀装置,通过增加蒸镀材料分子气体的动能,使该待镀膜基板上形成的薄膜的膜强度较高且膜层致密性较强,从而提高该待镀膜基板的镀膜良率。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供