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薄膜特性测量装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200710097385.8
IPC分类号：G01B11/06;G01B11/00;G01B21/08
申请日期：
2007-05-11
申请人：
横河电机株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	薄膜特性测量装置
申请号	CN200710097385.8	申请日期	2007-05-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-11-14	公开/公告号	CN101071060
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;2;1;/;0;8查看分类表>
申请人	横河电机株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	横河电机株式会社	当前权利人	横河电机株式会社
发明人	大日方祐彦;佐佐木尚史
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	陈源;张天舒

摘要

一种薄膜特性测量装置，其包括：测量单元，用于测量筒形薄膜圆周方向上的取向度和取向角；和轮廓生成部分，用于根据来自测量单元的信号，至少生成筒形薄膜的取向轮廓或厚度轮廓之一。

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