图像检查装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200510135032.3
IPC分类号：G01N21/956;G01N21/958
申请日期：
2005-12-21
申请人：
奥林巴斯株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	图像检查装置
申请号	CN200510135032.3	申请日期	2005-12-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-07-12	公开/公告号	CN1800836
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;8查看分类表>
申请人	奥林巴斯株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥林巴斯株式会社	当前权利人	奥林巴斯株式会社
发明人	仓田俊辅;小室孝广
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	李辉

摘要

一种图像检查装置。在图像检查装置中，即使被检查体的种类或制造工序等发生变化，也能够将自动聚焦的对焦位置校正为恰当的位置，可提高检查效率。为进行自动聚焦，从对焦位置检测部(102)通过颜色校正单元(103)、物镜(11)，将检测光(70)照射到基板(1)上，通过由光检测器(36)检测该反射光的位置，而检测出第1目标对焦位置。另一方面，在存储于存储部(3)中的明细中，存储有使第1目标对焦位置偏移的偏移值。并且，根据偏移值而移动颜色校正透镜组(31)的位置，设定到第2目标对焦位置，朝着该处驱动试样移动台(17)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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