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一种LED外延生长方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710375135.X
  • IPC分类号:H01L33/00;H01L33/06;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/40
  • 申请日期:
    2017-05-24
  • 申请人:
    湘能华磊光电股份有限公司
著录项信息
专利名称一种LED外延生长方法
申请号CN201710375135.X申请日期2017-05-24
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2017-09-26公开/公告号CN107204391A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/00IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;0;0;;;H;0;1;L;3;3;/;0;6;;;H;0;1;L;3;3;/;1;2;;;H;0;1;L;3;3;/;1;4;;;H;0;1;L;3;3;/;4;0查看分类表>
申请人湘能华磊光电股份有限公司申请人地址
湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湘能华磊光电股份有限公司当前权利人湘能华磊光电股份有限公司
发明人林传强
代理机构北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人于淼
摘要
本申请提供了一种LED外延生长方法,该LED外延是采用金属化学气相沉积法MOCVD对基底进行处理获得的,该方法包括:将基底进行退火,在基底上依次生长缓冲层、u‑GaN层、n‑GaN层、量子阱层、Al渐变AlGaN层、InGaN:Mg层、In渐变InGaN层、p型AlGaN层和p型GaN层;通过将Al渐变AlGaN层作为第一电子阻挡层,InGaN:Mg层和In渐变InGaN层构成新型电子注入层,p型AlGaN层作为第二电子阻挡层,制备出量子阱区域的空穴注入浓度高,驱动电压低的LED,提高了LED的发光效率。

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