多晶硅铸锭炉同步提升装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820078196.6
IPC分类号：C30B29/06;C30B28/06
申请日期：
2008-08-01
申请人：
中国电子科技集团公司第二研究所

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著录项信息

专利名称	多晶硅铸锭炉同步提升装置
申请号	CN200820078196.6	申请日期	2008-08-01
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第二研究所	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山西中电科新能源技术有限公司	当前权利人	山西中电科新能源技术有限公司
发明人	赵雪峰;张金凤;程建平
代理机构	山西科贝律师事务所	代理人	陈奇

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉同步提升装置，属机械提升装置，用于多晶硅生长铸锭炉中，包括分别固定设置在炉体(1)顶盖上的三个提升座(15)及设置有垂直直线导轨(11)的垂直提升基架(3)，在垂直直线导轨(11)上均分别活动设置有滑块(16)及L形提升角件(8)，L形提升角件(8)的下端与提升杆(13)连接在一起，在炉外驱动装置通过炉内处设置有密封圈(9)和波纹管(10)；其中的一个垂直提升基架(3)上设置有伺服电机(4)、减速机(5)和齿轮转向器(6)，伺服电机(4)带动三个提升座(15)上的提升装置同步提升炉内的坩埚。本实用新型整体结构简单，运行稳定，移动精度高，尤其适用密闭容器的内胆的同步移动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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