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硅片生产过程的控制系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911334090.7
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/67
  • 申请日期:
    2019-12-23
  • 申请人:
    常州捷佳创精密机械有限公司
著录项信息
专利名称硅片生产过程的控制系统
申请号CN201911334090.7申请日期2019-12-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-04-07公开/公告号CN110970530A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人常州捷佳创精密机械有限公司申请人地址
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州捷佳创精密机械有限公司当前权利人常州捷佳创精密机械有限公司
发明人左国军;张浩;万红朝
代理机构北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)代理人汪海屏;刘潇
摘要
本发明提供了硅片生产过程的控制系统。所述硅片生产过程的控制系统包括:硅片生产设备,适于生产硅片;生产管理系统,与所述硅片生产设备信号连接,适于采集所述生产管理系统的工艺数据,并为所述硅片分配身份信息;控制装置,与所述硅片生产设备和所述生产管理系统分别信号连接,在所述硅片进入所述硅片生产设备时接收来自所述生产管理系统的所述身份信息,并在所述硅片离开所述硅片生产设备时将所述身份信息上传至所述生产管理系统,以使得所述工艺数据与所述身份信息相互关联。本发明能够将每个硅片的身份信息和其工艺数据相互结合,以便对每个硅片的生产过程进行监控和记录。

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