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一种精密提升装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720076166.7
  • IPC分类号:B66F7/06;B66F7/28
  • 申请日期:
    2007-11-14
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种精密提升装置
申请号CN200720076166.7申请日期2007-11-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B66F7/06IPC分类号B;6;6;F;7;/;0;6;;;B;6;6;F;7;/;2;8查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备有限公司当前权利人上海微电子装备有限公司
发明人肖可云;袁志扬;严天宏
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型为一种精密提升装置,包括承载板(4),提升机构(6),上面板(601),下面板(602),驱动装置(19),其中提升机构(6)由两个以上的提升单元并联组成,所述的提升单元由两个X型桁架通过铰链连接,所述的驱动装置(19)装配在所述的铰链连接处。该装置体积小,灵活性好,并且也更加稳定,移动方便,适用于精密仪器的安装提升。

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