探针台

发明专利有效专利

申请号：
CN201980023465.X
IPC分类号：H01L21/66G01R1/073G01R31/26G01R31/28
申请日期：
2019-03-25
申请人：
日本麦可罗尼克斯股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	探针台
申请号	CN201980023465.X	申请日期	2019-03-25
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-11-27	公开/公告号	CN112005352A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28查看分类表>
申请人	日本麦可罗尼克斯股份有限公司	申请人地址	日本国东京都武藏野市吉祥寺本町2丁目6*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本麦可罗尼克斯股份有限公司	当前权利人	日本麦可罗尼克斯股份有限公司
发明人	安田胜男;有贺卫
代理机构	上海华诚知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明的课题在于，提供一种能够降低来自卡盘载物台的电流泄漏、外来噪声的影响，进而消除卡盘载物台的对探针台框体杂散电容，保持晶圆状态地精度良好地进行半导体器件的检查的探针台，通过提供如下这样的探针台来解决上述课题探针台具有上表面开口的卡盘罩导电体，其具有底部导体和侧部导体，能够在由底部导体和侧部导体围成的空间内收容所述卡盘载物台；上部罩导电体，其具有正面电极用探针以及背面电极用探针的支承导电部能够通过的贯通孔，且在检查时，在正面电极用探针的接触部在检查对象晶圆内相对地移动时，在俯视的情况下，也至少具有遮盖卡盘罩导电体的所述开口的大小；以及使卡盘罩导电体与上部罩导电体接触并电导通的单元。