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双应力膜互补金属氧化物半导体晶体管的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710171663.X
  • IPC分类号:H01L21/8238
  • 申请日期:
    2007-11-27
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称双应力膜互补金属氧化物半导体晶体管的制造方法
申请号CN200710171663.X申请日期2007-11-27
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2009-06-03公开/公告号CN101447457
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人张海洋
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人逯长明
摘要
一种双应力膜CMOS的制造方法,包括:提供具有第一和第二晶体管的半导体衬底;在第一晶体管上形成掺杂的第一应力膜;在该第一应力膜和第二晶体管上形成第二应力膜,该第二应力膜厚度至少等于第一晶体管栅极介质层、栅极与第一应力膜厚度之和;平坦化所述第二应力膜,使第一应力膜表面被露出;在第一应力膜被露出的表面上和第二晶体管栅极上方的第二应力膜上形成光刻胶图案,第二晶体管栅极上方的第二应力膜上的光刻胶图案的线宽大于第二晶体管栅极的线宽;刻蚀未被光刻胶图案覆盖的第二应力膜,至所述第一应力膜上的第二应力膜被去除为止。本发明在张应力膜和压应力膜层的接合处不会产生凸起的缺陷。

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