一种用于调幅探针卡的缓冲结构

发明专利有效专利

申请号：
CN202011081015.7
IPC分类号：G01R1/067;G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28
申请日期：
2020-10-11
申请人：
强一半导体（苏州）有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于调幅探针卡的缓冲结构
申请号	CN202011081015.7	申请日期	2020-10-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-01-22	公开/公告号	CN112255435A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/067 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/06 测量引线；测量探针（G01R 19/145，G01R 19/165优先）〔3〕 G01R1/067 测量探针〔3〕	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;6;7;;;G;0;1;R;1;/;0;4;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	强一半导体（苏州）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区东长路18号39幢2楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	强一半导体（苏州）有限公司	当前权利人	强一半导体（苏州）有限公司
发明人	王艾琳;赵梁玉
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种用于调幅探针卡的缓冲结构，缓冲结构设置在调幅探针卡的驱动结构上，驱动结构包括：驱动气缸、限位气缸、驱动气缸滑块和限位气缸滑块；所述缓冲结构包括：缓冲托板和缓冲垫，所述缓冲托板上设置有若干个缓冲垫，所述的驱动气缸和限位气缸均设置在所述的缓冲垫上；所述缓冲结构还包括：立板、缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧；通过缓冲托板和缓冲垫，将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离，减小震动，同时将驱动气缸与驱动滑块、限位气缸与限位滑块之间设置缓冲结构，减小气缸伸出时产生的震动。

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