一种超薄薄膜电化学沉积系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920274025.9
IPC分类号：C25D3/38;C25D5/10;C25D17/12;C25D21/12
申请日期：
2019-03-04
申请人：
深圳市汇美新科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种超薄薄膜电化学沉积系统
申请号	CN201920274025.9	申请日期	2019-03-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D3/38 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D3/00 电镀；其所用的镀液〔2〕 C25D3/02 溶液（C25D 5/24至C25D 5/32优先）〔2〕 C25D3/38 铜的〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;3;/;3;8;;;C;2;5;D;5;/;1;0;;;C;2;5;D;1;7;/;1;2;;;C;2;5;D;2;1;/;1;2查看分类表>
申请人	深圳市汇美新科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁路441号龙岗天安数码创新园二号厂房A304 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市汇美新科技有限公司	当前权利人	深圳市汇美新科技有限公司
发明人	叶颖辉
代理机构	北京挺立专利事务所（普通合伙）	代理人	叶树明

摘要

一种超薄薄膜电化学沉积系统，放卷模块，用于放卷膜面；前处理模块，用于微蚀洗及清洁膜面的表面；第一沉积模块，用于对膜面的双面预镀沉积复合铜层；第二沉积模块，用于对膜面的复合铜层进行双面增厚沉积铜层；清洗模块，用于对膜面进行清洗；保护层沉积模块，用于在清洗后的膜面上沉积保护层；后处理模块，用于对膜面进行清洁、烘干、切割；收卷模块，用于收卷膜面。采用本实用新型的超薄薄膜电化学沉积系统，可以快速进行超薄薄膜的电镀加工，一次即可完成双面电镀，加工效率高，并且机构设置合理，有效节约了生产成本，提高了生产效率，质量可控，张力控制精度高，超薄薄膜的外观性能好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供