基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910192331.9
IPC分类号：C25D11/16;H01L21/02;H01L27/00;H01L33/00
申请日期：
2009-09-15
申请人：
中山大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法
申请号	CN200910192331.9	申请日期	2009-09-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-03-03	公开/公告号	CN101660187
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D11/16 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D11/00 表面反应，即形成转化层的电解覆层〔2〕 C25D11/02 阳极氧化〔2〕 C25D11/04 铝或以其为基之合金的〔2〕 C25D11/16 预处理〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;1;1;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;7;/;0;0;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中山大学	申请人地址	广东省广州市新港西路135号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中山大学	当前权利人	中山大学
发明人	张佰君;黄智聪;王钢
代理机构	广州粤高专利商标代理有限公司	代理人	禹小明

摘要

本发明公开一种基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法，其包括以下步骤：在衬底上先镀上一铝层；在铝层表面均匀涂敷一微球结构层，并在微球表面蒸镀耐蚀性金属，蒸镀的耐蚀性金属将通过微球结构层间隙沉积在铝层表面，再将微球结构层去除；用稀酸进行腐蚀，在铝层上所蒸镀的金属之间形成凹坑，完成预成型的过程；利用浓酸将铝层上的耐蚀性金属去除；对铝层进行阳极氧化，形成具有预设孔洞结构图形的氧化铝层；利用氧化铝层作为掩模，通过刻蚀将氧化铝层上的孔洞结构图形转移到衬底上；去除氧化铝层，得到亚微米图形的衬底。本发明具有操作简单、快速、成本较低、孔径可控的优点。

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