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一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610970630.0
  • IPC分类号:G06F17/22;G06F17/50
  • 申请日期:
    2016-10-28
  • 申请人:
    上海空间电源研究所
著录项信息
专利名称一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法
申请号CN201610970630.0申请日期2016-10-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-05-10公开/公告号CN106649216A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G06F17/22IPC分类号G;0;6;F;1;7;/;2;2;;;G;0;6;F;1;7;/;5;0查看分类表>
申请人上海空间电源研究所申请人地址
上海市闵行区东川路2965号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海空间电源研究所当前权利人上海空间电源研究所
发明人张玮;陆宏波;李欣益;张梦炎;张华辉;杨丞;陈杰;张建琴;郑奕
代理机构上海信好专利代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法,按照语法规则分别读取化合物半导体器件生长程序文件与各层材料参数文件,同时结合预设的工艺文件与数值仿真分析控制参数生成适合数值仿真分析软件的专属文件,极大地提高了器件结构文件生成的便利性、可靠性、可维护性,同时使得原位分析得以进行,可以应用在各种化合物半导体器件结构的数值模拟与分析中,诸如多结太阳电池、微波器件、光电探测器、激光器等。

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