加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

溶液供给单元及具有该单元的基底处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110064439.7
  • IPC分类号:B01F3/08;B01F5/00;G03F7/34
  • 申请日期:
    2011-03-11
  • 申请人:
    细美事有限公司
著录项信息
专利名称溶液供给单元及具有该单元的基底处理装置
申请号CN201110064439.7申请日期2011-03-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-09-21公开/公告号CN102188918A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01F3/08IPC分类号B;0;1;F;3;/;0;8;;;B;0;1;F;5;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;3;4查看分类表>
申请人细美事有限公司申请人地址
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑毛枾里278番地 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人细美事有限公司当前权利人细美事有限公司
发明人朴贵秀;卢焕益;姜丙喆;赵源泌
代理机构上海金盛协力知识产权代理有限公司代理人段迎春
摘要
一种溶液供给单元,包括本体、第一供给管及第二供给管。所述本体包括横截面基本为圆形以容纳溶液的腔室,以及连接至所述腔室以使得所述溶液流出的外流部。所述第一供给管设于所述本体的一侧,其相切地连接至所述腔室,并且将第一溶液供给到所述腔室中以使得所述第一溶液在所述腔室中旋转。所述第二供给管具有端部,并且其将第二溶液供给到所述腔室中以使得所述第一溶液与所述第二溶液混合。所述端部形成为穿过所述本体且靠近所述本体的中心轴。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供