溶液供给单元及具有该单元的基底处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110064439.7
IPC分类号：B01F3/08;B01F5/00;G03F7/34
申请日期：
2011-03-11
申请人：
细美事有限公司

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著录项信息

专利名称	溶液供给单元及具有该单元的基底处理装置
申请号	CN201110064439.7	申请日期	2011-03-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-21	公开/公告号	CN102188918A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01F3/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01F 混合，例如，溶解、乳化、分散（混合颜料入B44D 3/06） B01F3/00 混合，例如，按被混合的相来分散，乳化 B01F3/08 液体与液体；乳化	IPC分类号	B;0;1;F;3;/;0;8;;;B;0;1;F;5;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;3;4查看分类表>
申请人	细美事有限公司	申请人地址	韩国忠清南道天安市西北区稷山邑毛枾里278番地变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	细美事有限公司	当前权利人	细美事有限公司
发明人	朴贵秀;卢焕益;姜丙喆;赵源泌
代理机构	上海金盛协力知识产权代理有限公司	代理人	段迎春

摘要

一种溶液供给单元，包括本体、第一供给管及第二供给管。所述本体包括横截面基本为圆形以容纳溶液的腔室，以及连接至所述腔室以使得所述溶液流出的外流部。所述第一供给管设于所述本体的一侧，其相切地连接至所述腔室，并且将第一溶液供给到所述腔室中以使得所述第一溶液在所述腔室中旋转。所述第二供给管具有端部，并且其将第二溶液供给到所述腔室中以使得所述第一溶液与所述第二溶液混合。所述端部形成为穿过所述本体且靠近所述本体的中心轴。

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