一种PVD载板清洗机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920017393.5
IPC分类号：B08B3/08;B08B3/04;B08B3/02;B08B13/00
申请日期：
2019-01-07
申请人：
福建金石能源有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种PVD载板清洗机
申请号	CN201920017393.5	申请日期	2019-01-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/08 具有化学作用或溶解作用的液体（使用的物质，参见有关的类）	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;0;4;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	福建金石能源有限公司	申请人地址	福建省泉州市晋江市经济开发区(五里园)泉源路17号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福建金石能源有限公司	当前权利人	福建金石能源有限公司
发明人	陈剑雨;黄茂林;邱衍荣;张延任;王树林
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种PVD载板清洗机，包括自动清洗设备、程式控制柜和远程终端，所述自动清洗设备包括依次并排设置第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽，所述第一酸洗浸泡槽、第二酸洗浸泡槽、清水浸泡槽、清水喷淋槽、加热烘干槽上方设置有行车机构和废气抽排系统，所述行车机构连接一次性承装多片载板的多片式花篮，所述加热烘干槽侧面设置有计算机程控及远程系统，所述远程终端通过程式控制柜和计算机程控及远程系统控制自动清洗设备。本实用新型通过计算机程序编辑控制准确完成编程中设定的每道清洗动作及流程，以高度自动化程序取代人员操作，具有稳定清洗产能及清洗质量，避免人员暴露在危险操作中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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