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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

曝光用的定位夹具及其曝光机

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201520065300.8
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00
  • 申请日期:
    2015-01-29
  • 申请人:
    深圳市卓力达电子有限公司
著录项信息
专利名称曝光用的定位夹具及其曝光机
申请号CN201520065300.8申请日期2015-01-29
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人深圳市卓力达电子有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区福永街道新和福园一路华发工业园A3幢 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市卓力达电子有限公司当前权利人深圳市卓力达电子有限公司
发明人连大学
代理机构深圳市精英专利事务所代理人冯筠
摘要
本实用新型涉及一种曝光用的定位夹具及其曝光机。定位夹具包括上玻璃和下玻璃。上玻璃设有上菲林,下玻璃设有下菲林,上菲林与下菲林图案一致。上玻璃上固定有多于一个母销钉,下玻璃固定有对应母销钉的公销钉,公销钉的外径等于母销钉的孔内径。进行曝光时,公销钉插入母销钉的孔内,上菲林与下菲林重合,上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定,工件位于上菲林与下菲林之间。曝光机包括机台和定位夹具。本实用新型通过公销钉和母销钉实现对位,公销钉与母销钉准确插合时上下菲林则准确对位,整个对位结构不需要昂贵的摄像机,达到了成本低精度高的效果。

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