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平坦化方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110758201.8
  • IPC分类号:H01L21/768
  • 申请日期:
    2021-07-05
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称平坦化方法
申请号CN202110758201.8申请日期2021-07-05
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-10-01公开/公告号CN113471142A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/768IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;6;8查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人严勋;徐亚超
代理机构北京律智知识产权代理有限公司代理人孙宝海;袁礼君
摘要
本发明提供一种平坦化方法,包括:提供具有硅通孔的晶圆,硅通孔中填充有金属铜;对晶圆进行第一次热处理,形成第一铜凸起;去除第一铜凸起;对去除第一铜凸起的晶圆进行第二次热处理,形成第二铜凸起;去除第二铜凸起;对去除第二铜凸起的晶圆进行第三次热处理,并在晶圆表面形成介电层。本发明的平坦化方法减小了在后续工艺中由于出现铜凸起而造成的成品良率降低的风险,实现了对TSV的有效平坦化,且该平坦化方法工艺简单,降低了劳动量以及制造成本。

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