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用于等离子体处理装置的阻抗匹配的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610873947.2
  • IPC分类号:H01J37/32
  • 申请日期:
    2016-09-30
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称用于等离子体处理装置的阻抗匹配的方法
申请号CN201610873947.2申请日期2016-09-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-07-11公开/公告号CN106941067A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J37/32IPC分类号H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人永海幸一;梅原直征;山田纪和
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳;梁霄颖
摘要
本发明根据高频电源的负载侧的阻抗的变动适当且高速地调整高频电力的频率。在一实施方式的方法中,由等离子体处理装置的高频电源开始与第一期间中的功率相比,与该第一期间交替反复的第二期间中的功率设定得小的调制高频电力的输出。接着,取得过去的第一期间内的第一副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值和过去的第一期间内的第二副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值。接着,第一副期间的调制高频电力的频率和第二副期间的调制高频电力的频率根据移动平均值被设定。

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