一种阶段性电镀工艺电镀铜方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210444570.0
IPC分类号：C25D3/38;C25D5/18;C25D7/12;H01L21/288;H01L21/445
申请日期：
2012-11-08
申请人：
无锡新三洲特钢有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种阶段性电镀工艺电镀铜方法
申请号	CN201210444570.0	申请日期	2012-11-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-05-21	公开/公告号	CN103806030A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D3/38 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D3/00 电镀；其所用的镀液〔2〕 C25D3/02 溶液（C25D 5/24至C25D 5/32优先）〔2〕 C25D3/38 铜的〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;3;/;3;8;;;C;2;5;D;5;/;1;8;;;C;2;5;D;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;2;8;8;;;H;0;1;L;2;1;/;4;4;5查看分类表>
申请人	无锡新三洲特钢有限公司	申请人地址	江苏省无锡市惠山区前洲街道北幢村无锡新三洲特钢有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡新三洲特钢有限公司	当前权利人	无锡新三洲特钢有限公司
发明人	林永峰
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	杨小双

摘要

本发明涉及一种阶段性电镀工艺电镀铜方法，其特征在于，该方法采用阶段性电镀工艺和与该工艺相适应的电镀液进行处理。所述阶段性电镀工艺处理中的每个处理阶段的工艺条件为：硅片工艺位置：2～10毫米，电流密度：0.2～8安培/平方分米，硅片旋转速度：5～50转/分钟，电镀液流速：4～20升/分钟，时间：3～500秒。从而在保证高的填充速率的同时，有效地减小了大尺寸、大深度图形相对于无图形区域的台阶高度，在保证化学机械抛光工艺窗口的前提上，间接地减少了电镀工艺所需的铜膜厚度，进而缩短了电镀工艺时间和化学机械抛光工艺时间，并节约化学耗材的使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供