膜厚的检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020599477.7
IPC分类号：G01B7/06
申请日期：
2020-04-20
申请人：
威海华菱光电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	膜厚的检测装置
申请号	CN202020599477.7	申请日期	2020-04-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 7/004，G01B 7/12优先）〔6〕 G01B7/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;0;6查看分类表>
申请人	威海华菱光电股份有限公司	申请人地址	山东省威海市火炬高技术产业开发区科技路179号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	威海华菱光电股份有限公司	当前权利人	威海华菱光电股份有限公司
发明人	戚务昌;宋荣鑫;张凯;曲涛;林永辉;姜利
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	霍文娟

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：检出结构，包括检出电极；共通电极，与检出电极在第一方向上相对且间隔设置，检出结构和共通电极之间的间距为预定间距；介质部，位于检出电极和共通电极之间，且介质部位于检出结构的表面上和/或位于共通电极的表面上，介质部的厚度小于预定间距，介质部用于增加检出电极和共通电极之间的介电常数。通过在检出电极和共通电极之间设置介质部，由于介质部增加了检出电极与共通电极之间的介电常数，即改善了检出电极与共通电极之间的导电特性，使得该检测装置具有较高的检测灵敏度与精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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