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减小半导体材料尺寸的装置和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN98102651.6
IPC分类号：--
申请日期：
1998-06-24
申请人：
瓦克化学有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	减小半导体材料尺寸的装置和方法
申请号	CN98102651.6	申请日期	1998-06-24
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1999-02-24	公开/公告号	CN1209034
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	瓦克化学有限公司	申请人地址	联邦德国慕尼黑变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	瓦克化学有限公司	当前权利人	瓦克化学有限公司
发明人	弗朗茨·克普尔;保罗·富克斯
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	甘玲

摘要

描述了一种用来减小半导体材料尺寸的新型装置,该装置至少有两个相间隔电极,电极是由将要被减小尺寸的半导体材料构成的,并且,每一个电极装有一个加热装置。

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