生长蓝宝石单晶的设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320555834.X
IPC分类号：C30B15/20;C30B29/20
申请日期：
2013-09-06
申请人：
上海森松压力容器有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	生长蓝宝石单晶的设备
申请号	CN201320555834.X	申请日期	2013-09-06
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/20 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/20 控制或调节（一般的控制或调节入G05）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;2;0;;;C;3;0;B;2;9;/;2;0查看分类表>
申请人	上海森松压力容器有限公司	申请人地址	上海市松江区泖港镇中民路458号1幢1号车间变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海森永工程设备有限公司	当前权利人	上海森永工程设备有限公司
发明人	华庆;茅陆荣;李严州;程佳彪;宋瑜
代理机构	上海百一领御专利代理事务所（普通合伙）	代理人	马育麟

摘要

本实用新型公开了一种生长蓝宝石单晶的设备，包括一炉体，一真空系统、一提拉系统、一电源以及设置于所述炉体的一加热系统和一冷却系统；所述真空系统与所述炉体的内腔连通；所述提拉系统设置于所述炉体的上方；所述提拉系统包括提拉动力装置以及与所述提拉动力装置连接的籽晶杆；还包括一控制系统，所述控制系统与所述电源、所述加热系统、所述冷却系统和所述提拉系统电连接；所述加热系统与所述炉体之间设置有保温层。由于采用了本实用新型的一种生长蓝宝石单晶的设备及方法，能够有效的调控温度梯度和生长前沿固液界面状态，避免气泡和降低缺陷密度，由此获得高质量的蓝宝石单晶体。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供