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芯片以及晶圆

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010577634.9
  • IPC分类号:H01L23/488;G01R31/28
  • 申请日期:
    2020-06-23
  • 申请人:
    南亚科技股份有限公司
著录项信息
专利名称芯片以及晶圆
申请号CN202010577634.9申请日期2020-06-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-20公开/公告号CN113284869A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/488IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;8;8;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人南亚科技股份有限公司申请人地址
中国台湾新北市泰山区南林路98号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南亚科技股份有限公司当前权利人南亚科技股份有限公司
发明人蔡佳霖;王茂盈
代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司代理人浦彩华;姚开丽
摘要
本发明公开了一种芯片以及晶圆,芯片包括多个接垫以及多个导电结构,每个接垫各自具有第一连接表面,每个导电结构配置于这些接垫的其中之一的第一连接表面。每个导电结构包括第一金属层、第二金属层以及第三金属层。第一金属层连接多个接垫的其中之一,且第二金属层配置于第一金属层以及第三金属层之间。在每个接垫上,第一金属层、第二金属层以及第三金属层沿着第一方向堆叠于接垫的第一连接表面,且第一方向平行于第一连接表面的法向量,且第一金属层的材质包括金,第二金属层的材质包括镍。本发明还提出一种晶圆。本发明提出的芯片以及晶圆具有较佳的耐久性。

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