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一种图形化石墨烯的转移制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210117732.X
  • IPC分类号:H01L21/02;H01L21/00
  • 申请日期:
    2012-04-20
  • 申请人:
    兰州大学
著录项信息
专利名称一种图形化石墨烯的转移制备方法
申请号CN201210117732.X申请日期2012-04-20
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2012-08-15公开/公告号CN102637584A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/02IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人兰州大学申请人地址
甘肃省兰州市城关区天水南路222号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人兰州大学当前权利人兰州大学
发明人耿柏松;王枫;闫鹏勋;卓仁富;吴志国;王君;闫德
代理机构北京中恒高博知识产权代理有限公司代理人夏晏平
摘要
本发明公开一种图形化石墨烯的转移制备方法,该方法包括如下步骤:先在生长在催化金属衬底上的石墨烯表面按照设计的图案涂覆粘性材料;再在石墨烯表面涂覆一层PDMS,加热固化;将得到的样品浸泡在腐蚀溶液中,腐蚀去掉催化金属衬底,黏附有粘性材料和PDMS的石墨烯漂浮在溶液中;将所得黏附有粘性材料和PDMS的石墨烯转移到目标衬底上;再将PDMS从上述目标衬底剥离,得到图形化的石墨烯。本发明的方法对目标衬底的材料使用上没有限制,在剥离PDMS时,能够得到预想的图形,不会对石墨烯造成额外的结构性破损,同时保持石墨烯表面洁净,无需昂贵的刻蚀设备,即可实现图形化石墨烯制作。

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