一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310152515.9
IPC分类号：C03B19/00;G02B3/00
申请日期：
2013-04-27
申请人：
北京工业大学

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专利名称	一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法
申请号	CN201310152515.9	申请日期	2013-04-27
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-08-21	公开/公告号	CN103253851A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03B19/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03B 玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺（表面处理入C03C） C03B19/00 玻璃成型的其他方法（由软化的玻璃、矿物或矿渣制造或处理絮片，纤维或细丝入C03B 37/00）	IPC分类号	C;0;3;B;1;9;/;0;0;;;G;0;2;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	北京工业大学	申请人地址	北京市朝阳区平乐园100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京工业大学	当前权利人	北京工业大学
发明人	陈涛;刘先晖;黄超
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	张慧

摘要

一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法，属于激光领域。其包括以下步骤：将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后叠放置于加工平台，模板置于玻璃基片上方，利用CO2激光在模板上离焦辐照，离焦距离约为30‐50㎜，激光功率为40～50W，辐照时间10～60s；停止辐照，吹气体冷却5～10s，完成加工。本发明适用于在玻璃基片上加工微透镜或微透镜阵列，透镜孔径及间距由金属模板的通孔尺寸及孔的分布决定，而透镜深度可通过辐照的功率密度及时间来控制，加工灵活性强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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