测试电路、测试系统及其测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010012688.0
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2020-01-08
申请人：
中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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著录项信息

专利名称	测试电路、测试系统及其测试方法
申请号	CN202010012688.0	申请日期	2020-01-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-27	公开/公告号	CN113176482A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	天津市西青区西青经济开发区兴华道19号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（天津）有限公司,中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（天津）有限公司,中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	蒋昊
代理机构	上海知锦知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	高静

摘要

本发明提供一种测试电路、测试系统及其测试方法，所述测试电路中的环形振荡器在使能信号发出的第一电平信号下开启振荡，产生交流信号，所述反相器模块在所述使能信号下导通，交流信号通过反相器加载在被测器件上；在使能信号发出的第二电平信号下，所述环形振荡器停止振荡，使所述反相器模块关断，此时即可对被测器件进行相关直流测试，从而简化了测试设备和测试步骤，节省了测试时间，提高了测试效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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