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一种气相沉积设备用石英钟罩管清洗装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821745852.3
  • IPC分类号:B08B3/02;B08B13/00
  • 申请日期:
    2018-10-26
  • 申请人:
    至微半导体(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种气相沉积设备用石英钟罩管清洗装置
申请号CN201821745852.3申请日期2018-10-26
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/02IPC分类号B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人至微半导体(上海)有限公司申请人地址
上海市闵行区紫海路170号1幢3层023室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人至微半导体(上海)有限公司当前权利人至微半导体(上海)有限公司
发明人廖世保;邓信甫
代理机构上海宣宜专利代理事务所(普通合伙)代理人暂无
摘要
本实用新型涉及半导体器件制造业技术领域,具体地说是一种气相沉积设备用石英钟罩管清洗装置,包括清洗管;中间接头;转接头;所述清洗管的扩口部嵌设在转接头的环形嵌槽内,而转接头的内管部嵌设在扩口部内;清洗管的管部依次穿过中间接头清洗管通孔、光孔;所述转接头的径部的外螺纹与中间接头的螺纹孔螺纹连接。本实用新型与现有技术相比,结构简单,使用方便,采用喷洒方式,节省药液,延长部件的使用寿命,减少对人员的伤害和生产成本。

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