湿度可调高精度闭环配气系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201010123679.5
IPC分类号：G01N33/00
申请日期：
2010-03-11
申请人：
大连理工大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	湿度可调高精度闭环配气系统
申请号	CN201010123679.5	申请日期	2010-03-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-11-10	公开/公告号	CN101881761A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N33/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N33/00 利用不包括在G01N 1/00至G01N 31/00组中的特殊方法来研究或分析材料	IPC分类号	G;0;1;N;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	大连理工大学	申请人地址	辽宁省大连市甘井子区凌工路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连理工大学	当前权利人	大连理工大学
发明人	崔远慧;唐祯安;余隽;陈毅;张双岩;魏广芬
代理机构	大连理工大学专利中心	代理人	梅洪玉

摘要

本发明设计了一种湿度可调的高精度闭环程控配气系统。该系统配气过程实现闭环控制，湿度调节实现闭环控制。系统主要由混合气配制、浓度监测和传感器数据采集及上位机监控四部分组成。混合气配制部分由气源、管道、质量流量控制器、恒温箱、加湿单元、混合腔及减压阀等组成。浓度监测单元由四级杆质谱仪和专用的模数转换卡及串口连接线等组成。传感器数据采集部分由多路数据采集器和多路电枢转换器及USB连接线等组成。上位机监控部分主要对温湿度、浓度监测单元和传感器数据采集单元的数据进行设置和时时处理，最后发送指令，控制整个系统的工作。该系统可以连续配制一种或者多种标准浓度气体，配制的气体成本低、精度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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