一种多工位多机氦质谱检漏系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202021459150.6
IPC分类号：G01M3/20
申请日期：
2020-07-22
申请人：
安徽诺益科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种多工位多机氦质谱检漏系统
申请号	CN202021459150.6	申请日期	2020-07-22
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/04 通过在漏泄点检测流体的出现 G01M3/20 应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;2;0查看分类表>
申请人	安徽诺益科技有限公司	申请人地址	安徽省合肥市蜀山区蜀山新产业园区联东U谷蜀山国际企业港14-2栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽诺益科技有限公司	当前权利人	安徽诺益科技有限公司
发明人	朱操胜
代理机构	合肥昊晟德专利代理事务所（普通合伙）	代理人	王林

摘要

本实用新型公开了一种多工位多机氦质谱检漏系统，包括清扫气源、多个氦质谱检漏仪、多个检测工位，所述检测工位与所述氦质谱检漏仪数量相同并对应连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位分别与所述清扫气源连接。本实用新型通过采用一机一工位的检测方式，解决了一机多工位工作模式中存在的检测工位需要轮流检测、受到检漏仪本身性能瓶颈限制、节拍提升有限、控制逻辑较为复杂等问题，有效地提高了检漏系统的可靠性；并且各检测工位可同时运行相同的检测步骤，消除了一机多工位工作模式中对检漏仪的依赖，使检测效率得到进一步提高，值得被推广使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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