加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

贴膜装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910204124.4
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2019-03-18
  • 申请人:
    广东思沃精密机械有限公司
著录项信息
专利名称贴膜装置
申请号CN201910204124.4申请日期2019-03-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-09-25公开/公告号CN111710620A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人广东思沃精密机械有限公司申请人地址
广东省东莞市松山湖高新科技产业园区研发一路1号A栋一楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东思沃精密机械有限公司当前权利人广东思沃精密机械有限公司
发明人王建勋;谢军
代理机构深圳中一联合知识产权代理有限公司代理人张全文
摘要
本发明公开了一种贴膜装置,包括贴膜支架、第一贴膜台、压膜机构、第二贴膜台、贴膜升降驱动机构、设于第二贴膜台且用于与第一贴膜台相接触的密封圈、用于对第一贴膜台与第二贴膜台之间进行抽真空的抽真空组件、以及设于第一贴膜台与第二贴膜台之间且用于锁紧第一贴膜台与第二贴膜台的锁紧组件。第二贴膜台上的密封圈与第一贴膜台密封接触后,锁紧组件将第一贴膜台与第二贴膜台锁紧,抽真空组件对对第一贴膜台与第二贴膜台之间进行抽真空,使得第一贴膜台与第二贴膜台之间的空气被抽离,然后压膜机构动作对干膜及晶圆施力,由于第一贴膜台与第二贴膜台之间接近真空的状态,避免了干膜贴附于晶圆后晶圆与干膜之间存在气泡。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供