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一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620729964.4
  • IPC分类号:B05B7/04;B05B13/02;B05B7/12
  • 申请日期:
    2016-07-12
  • 申请人:
    河北大学
著录项信息
专利名称一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置
申请号CN201620729964.4申请日期2016-07-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05B7/04IPC分类号B;0;5;B;7;/;0;4;;;B;0;5;B;1;3;/;0;2;;;B;0;5;B;7;/;1;2查看分类表>
申请人河北大学申请人地址
河北省保定市五四东路180号河北大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河北大学当前权利人河北大学
发明人范建东;麦耀华;陈荣荣;刘冲
代理机构石家庄国域专利商标事务所有限公司代理人胡素梅;苏艳肃
摘要
本实用新型提供了一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置。该装置包括喷枪、气泵、控制器、容器和加热板。喷枪竖直放置,其上部为枪身,下端为喷嘴;气泵通过导气管与喷枪的枪身相连接,用于向喷枪枪身内提供高压工作气体;在导气管上设有气阀开关;控制器用于控制气阀开关的闭合和断开,从而控制气泵向喷枪枪身内提供高压工作气体;容器用于盛放前驱液;加热板用于对其上的基底进行加热;在高压工作气体的作用下,容器内的前驱液可通过导液管进入喷枪的枪身内并雾化,最终由喷嘴喷出喷涂在高温基底上。本实用新型只需将各参数设置好,就可自动运行,自行停止,方便高效易操作,且可制备大面积的、厚度可控、均匀致密的薄膜。

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