大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110311551.6
IPC分类号：G01M11/02;G01J1/00
申请日期：
2011-09-28
申请人：
中国科学院西安光学精密机械研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法
申请号	CN201110311551.6	申请日期	2011-09-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-10	公开/公告号	CN103033340A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2;;;G;0;1;J;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院西安光学精密机械研究所	申请人地址	陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院西安光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院西安光学精密机械研究所
发明人	陈永权;赵建科;段亚轩;李霞;李坤;赛建刚
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司	代理人	姚敏杰

摘要

本发明涉及一种大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法，该大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；分束镜设置于激光器的出射光路上；第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的-1级衍射光路上；第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。本发明提供了一种可解决大口径取样光栅取样率的测试问题，并很好的保证了测试精度的大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法。

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