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薄膜晶体管印刷制程方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410096916.8
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2004-12-06
  • 申请人:
    台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司
著录项信息
专利名称薄膜晶体管印刷制程方法
申请号CN200410096916.8申请日期2004-12-06
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2006-06-14公开/公告号CN1786800
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司申请人地址
台湾省新竹县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会,中华映管股份有限公司,友达光电股份有限公司,广辉电子股份有限公司,瀚宇彩晶股份有限公司,奇美电子股份有限公司,财团法人工业技术研究院,统宝光电股份有限公司当前权利人台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会,中华映管股份有限公司,友达光电股份有限公司,广辉电子股份有限公司,瀚宇彩晶股份有限公司,奇美电子股份有限公司,财团法人工业技术研究院,统宝光电股份有限公司
发明人张世杰;蔡健益;萧名男;王朝仁
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人马娅佳
摘要
本发明公开了一种薄膜晶体管印刷制程方法,步骤包括定义印刷图样于一晶种材料、光刻胶材料、固化材料,并进行浸置基板于溶液的化学无电电镀纳米金属方法,再将金属离子还原成并沉积金属材料,于基板上形成金属配线。利用印刷方式结合纳米金属材料制备薄膜晶体管(TFT)中低阻抗闸极(gate)金属薄膜与漏极(drain)、源极(source)电极薄膜,主要应用于大面积连续印刷制程制作平面显示器,可在常压低温下制备电气性质良好的闸极、漏极与源极金属薄膜,可大幅降低材料与制程设备成本,并可用于连续印刷涂布制作大面积可挠式面板。

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