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一种超纯硅烷气瓶的内壁处理方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810024680.5
  • IPC分类号:C23C18/16;C23C18/18
  • 申请日期:
    2008-04-01
  • 申请人:
    南京特种气体厂有限公司
著录项信息
专利名称一种超纯硅烷气瓶的内壁处理方法
申请号CN200810024680.5申请日期2008-04-01
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-08-27公开/公告号CN101250704
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/16IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;1;6;;;C;2;3;C;1;8;/;1;8查看分类表>
申请人南京特种气体厂有限公司申请人地址
江苏省南京市江宁区禄口街道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京特种气体厂有限公司当前权利人南京特种气体厂有限公司
发明人林培川
代理机构南京知识律师事务所代理人程化铭
摘要
本发明公开了一种超纯硅烷气瓶的内壁处理方法,其步骤如下:内壁打磨:用石英砂加去离子水打磨;用内窥镜检查气瓶内壁,不能有锈疤和不光滑的表面。采用去离子水清洗气瓶内表面,直到清洗后的电导率≤0.1uS/cm为合格;倒置气瓶,倒出瓶内残留的水;内壁镀锌镍复合镀层;再清洗内壁;将气瓶烘干,对气瓶抽真空至≤10Pa;充入6N高纯氢至3~4MPa,放置24小时后测量气瓶内气体的含水量,≤0.5ppm为合格;放掉氢气,抽真空至≤1Pa,灌装硅烷,放置10天以上,分析硅烷中各项杂质含量,特别是含水量≤2ppm;30天,60天后再次分析,如各项杂质指标无变化,则处理完毕。

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